新能源清潔車間

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妖精动漫免费登录入口妖精视频在线免费观看，專業承接各行業車間無塵無菌妖精视频在线免费观看工程，電話：133053461591.光伏新能源矽晶片簡介

光伏新能源矽晶片是由矽材料加工而成的一個像鏡子一樣明亮的圓片，是生產半導體集成電路芯片的原材料。目前，微電子產業發展迅速，集成電路技術已進入0.18微米以下的時代極大地刺激了光伏新能源矽晶片的發展，大大提高了對光伏新能源矽晶片性能參數的要求。因此，光伏新能源矽晶片的發展前景十分樂觀。

妖精动漫免费登录入口妖精视频在线免费观看，專業承接各行業車間無塵無菌妖精视频在线免费观看工程，電話：133053461591.1 光伏新能源矽晶片的生產工藝

從大的方麵來講，光伏新能源矽晶片生產包括矽單晶棒生產和光伏新能源矽晶片生產兩大部分，細分為以下幾道主要工序：

單晶棒生長-單晶棒切割檢測-外徑磨削-切片-倒角(圓邊)-研磨/研磨片檢測-蝕刻(化學蝕刻)LP-CVD AP-CVD 等工藝)-PTA熱處理-背損傷處理-拋光(ML粗拋、ML精拋-洗滌-質量檢驗-清潔包裝 從單晶棒生長到外徑磨削到矽單晶棒生產工藝，切片後的工藝為光伏新能源矽晶片生產工藝。以矽片廠為例，介紹了空調妖精视频在线免费观看係統和自動控製係統的設計方案。

妖精动漫免费登录入口妖精视频在线免费观看，專業承接各行業車間無塵無菌妖精视频在线免费观看工程，電話：133053461591.2 各生產工序環境控製要求

矽片廠生產4~6寸光伏新能源矽晶片，產量480萬片/年。本公司光伏新能源矽晶片用於製造分立器件、功率元件和特殊集成電路。

妖精动漫免费登录入口妖精视频在线免费观看，專業承接各行業車間無塵無菌妖精视频在线免费观看工程，電話：133053461592.空調妖精视频在线免费观看係統

空調妖精视频在线免费观看的設計與工藝布局和生產工藝緊密結合。不同類型和用途的工廠空調妖精视频在线免费观看係統各有特點。以下是光伏新能源矽晶片生產工藝的空調妖精视频在线免费观看係統方案。

妖精动漫免费登录入口妖精视频在线免费观看，專業承接各行業車間無塵無菌妖精视频在线免费观看工程，電話：133053461592.1 空調係統

1 切片室、倒角室、研磨室隻有溫度控製要求，有風冷熱泵分體櫃式空調(PAC)為了保證房間的溫度要求，室內機就近放置在車間內，連接風管，采用雙層百葉風口側送風方式；室外機放在屋頂上。切割室排氣量大，新風采用直接蒸發式熱泵屋頂空調S1-1和S1-2補充。車間有防塵要求，中效空氣過濾器設置在風冷熱泵分體櫃式空調回風口(大氣塵計數效率:≥60%，對於≥1μm顆粒)，同一屋頂空調需要兩級過濾器。

原理圖見圖：




2 爐室、BSD室內隻有溫度控製要求，有風冷電熱分體櫃式空調(PAL)為了保證房間的溫度要求，室內機就近放置在車間內，連接風管，采用方形散流器頂部送風方式；室外機放置在屋頂上。新鮮空氣由相鄰的潔淨室正壓。車間有防塵要求，風冷電熱分體櫃式空調出風口設置中效過濾器（大氣塵計數效率：≥60%，對於≥1μm粒子)。

3 磨片檢查室對溫濕度控製有要求，配有風冷電熱分體櫃式空調(PAL)為保證室內溫度要求，室內機就近放置在車間內，連接風管，采用方形散流器頂部送風方式；室外機放置在屋頂上。新風通過新風機組(MAU-1、2）處理後，將送風管送至室內，相對濕度由新風機組保證。新風機組與妖精视频在线免费观看係統共用。車間有防塵要求。風冷電熱分體櫃式空調回風口設有中效過濾器（大氣粉塵計數效率：≥60%，對於≥1μm顆粒)，新風機組內設置粗、中效過濾器。

妖精动漫免费登录入口妖精视频在线免费观看，專業承接各行業車間無塵無菌妖精视频在线免费观看工程，電話：133053461592.2 妖精视频在线免费观看係統

新風空調機組用於光伏新能源妖精视频在线免费观看工程係統(MAU)循環空調機組(AHU)的冷媒采用6-11℃冷凍水用0加熱.2MPa蒸汽，加濕0.1MPa清潔蒸汽加濕，清潔蒸汽由純水通過清潔蒸汽發生器產生。

1 CP室內妖精视频在线免费观看等級為7級，通風次數為30次/小時，CP室內工藝設備酸量大，采用全新風空調機組(MAU-3) 高效過濾器送風口(HEP-ABOX)空調方式。氣流流程為：新風入口-粗過濾器-中效過濾器-預加熱器-表麵冷卻器-加熱器-清潔蒸汽加濕-送風機-送風管-高效過濾器送風-清潔區。

2 ML室內妖精视频在线免费观看水平為7級，通風次數為30次/小時，采用新風機組(MAU) 循環機組(AHU) 高效過濾器送風口(HEPABOX)空調方式。新風與其他係統共用MAU-1、2新風組。

3 CP/CVD室、LP/CVD潔淨包裝室妖精视频在线免费观看水平為6 級，換氣次數取為50次/小時，采用新風機組(MAU) 循環機組(AHU) 高效過濾器送風口(HEP-ABOX)空調方式。新風與其他係統共用MAU-1、2新風組。

4 7級、6 一級無塵室采用的氣流形式是頂部高效過濾器出風口，房間側下百葉窗出風口回風。氣流過程為：新回風混合！中效空氣過濾器-表麵冷卻器-送風機-送風管-高效空氣過濾器出風口-潔淨區-房間側下百葉窗出風口-回風管-新回風混合。

5 質量檢驗室的妖精视频在线免费观看水平為7 采用新風機組(MAU) 循環機組(AHU) 風機過濾單元(FFU))空調方式。頂部采用氣流形式FFU送風，房間側下百葉風口回風。FFU滿布率為33%，洗淨室、質量檢驗室對NH4 、SQx循環機組需要濃度(AHU)增加化學過濾器。5級妖精视频在线免费观看室的氣流過程為：新回風混合化學過濾器(NH4 )-化學過濾器(SQx)-中效過濾器-表冷器-送風機-送風管-送風靜壓箱-風機過濾單元(FFU)-潔淨區-房間側下百葉窗回風口-回風管-新回風混合。新風與其他係統共用MAU-1、2新風組。

6 除CP室外潔淨室所需新風采用2台新風機組(MAU-1.2)集中處理，新風集中處理後送至各循環機組(AHU)。氣流流程為：新風入口-粗過濾器-中效過濾器-預加熱器-表麵冷卻器-加熱器-清潔蒸汽加濕-送風機-送風管-循環空調機組(AHU)。

7 CP室、ML房間和洗淨室的酸度相對較高，CP室、ML室內高效過濾器出風口的擴散板采用不鏽鋼板製成，室內清洗FFU網板由不鏽鋼板製成。

8 需要注意的是，質量檢驗室根據工藝要求采用黑色牆板、黑色頂板，相應采用黑色回風口，FFU網板需要黑色網板。

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新風機組(MAU-1.2)變頻器由總送風管上的靜壓傳感器控製。接入每個風量和正壓控製循環機組(AHU)電動調節閥設置在新風管上，電動調節閥的開度由每個潔淨室的正壓值調節，使潔淨室的正壓值不隨生產設備的排氣量而變化。電動調節閥的開度變化導致總送風管上的靜壓變化，並根據其設定值進行調節AHU-1、2風扇頻率，以達到控製的目的。

妖精动漫免费登录入口妖精视频在线免费观看，專業承接各行業車間無塵無菌妖精视频在线免费观看工程，電話：133053461593.1 妖精视频在线免费观看車間/無塵車間的溫濕度控製

無塵車間的濕度由新風機組妖精视频在线免费观看生產MAU-1.2確保控製新風機組的送風狀態點，據送風狀態設定值調整幹蒸汽加濕器電動執行機構和表麵冷卻器和加熱器回水管上電動二通閥的開度。露點溫度DPT檢查室內濕度敏感元件HE連續固定。無塵車間的妖精视频在线免费观看生產溫度由循環機組決定AHU表冷器回水管上的電動二通閥開度應根據室內溫度進行調整。

妖精动漫免费登录入口妖精视频在线免费观看，專業承接各行業車間無塵無菌妖精视频在线免费观看工程，電話：133053461593.2 冷卻係統控製

冷凍水係統采用一級泵，通過負載控製確定冷卻機組及相應水泵和冷卻塔的開啟台數。供水和回水壓差根據設定供水和回水壓差自動控製，回水主管之間的壓差流量旁路閥。


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大氣塵計數效率：≥60%，對於≥1μm粒子)

妖精动漫免费登录入口妖精视频在线免费观看，專業承接各行業車間無塵無菌妖精视频在线免费观看工程，電話：13305346159三、產品特點：

目前，微電子產業發展迅速，集成電路技術已進入0.18微米以下的時代極大地刺激了光伏新能源矽晶片的發展，大大提高了對光伏新能源矽晶片性能參數的要求。


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食品、化妝品、飲料產品生產、動物實驗室、物理化學實驗室、血站、細菌學、生物學、清潔實驗室、物理工程（基因重組、疫苗製備）等行業。

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