半導體無塵車間或潔淨區隻布置必要的工藝設備，以及有空氣清潔度等級要求的工藝和潔淨設備。半導體無塵車間工程工藝布車間設計綜合考慮協調，布局合理緊湊。在滿足生產工藝要求的前提下，空氣潔淨度高的半導體無塵車間潔淨室或潔淨區應靠近空調室，空氣潔淨度等級相同的工序和工作室應集中布置，空氣潔淨度等級低的工作室應靠近潔淨區人口。妖精视频在线免费观看無塵車間工程中空氣清潔度高的工序應布置在上風側，易汙染的工藝設備應布置在靠近回風口的位置。應考慮大型設備安裝維護的運輸路線，並預留設備安裝口和維修口。
半導體無塵車間工程周圍的道路麵層應選用完整性好、粉塵少的材料。應設置環形消防車道（可使用的交通道路）。如有困難，可沿工廠兩個長邊設置消防車道。無塵車間工程周圍應進行綠化。草坪可以鋪設，樹木對大氣粉塵濃度沒有有害影響，形成綠色社區。但不得妨礙消防操作。
半導體無塵車間工程應遠離碼頭、機場、交通要道、工廠、倉庫、堆場等有嚴重空氣汙染、振動或噪聲幹擾的區域，排放大量粉塵和有害氣體。如果不能遠離嚴重的空氣汙染源，應位於其大頻率風向上風側或全年小頻率風向下風側；
半導體無塵車間工程應布置在環境清潔、人流、貨流不交叉或少穿越的地區。半導體無塵車間工程與交通幹道的距離不小於50米。對於具有微振動控製要求的半導體無塵車間工程的位置選擇，應實際確定周圍現有振動源的振動影響，並與準確的設備和準確的儀器進行分析和比較。當半導體無塵車間工程中高頻風向上風側有煙囪時，半導體無塵車間工程與煙囪的水平距離不得小於煙囪高度的12倍。
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