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從中國標準和美國標準可以看出，中國的三級標準相當於美國的一級標準。由此可見，隨著半導體產業的發展um量級向nm在量級發展過程中，對潔淨室等級的要求也越來越高。
但目前半導體行業普遍采用千級(6級)或萬級(7級)，隻有局部地區的高自動化作業需要百級(5級)甚至更高。
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